@prefix rdr: <http://data.loterre.fr/ark:/67375/RDR> .
@prefix skos: <http://www.w3.org/2004/02/skos/core#> .
@prefix inist: <http://www.inist.fr/Ontology#> .
@prefix isothes: <http://purl.org/iso25964/skos-thes#> .

rdr:-TXMTW07W-8
  skos:prefLabel "lithographic proximity effect"@en, "efecto de proximidad en litografia"@es, "effet de proximité en lithographie"@fr ;
  skos:hiddenLabel "Effet de proximité en lithographie"@fr, "Effet proximité(lithographie)"@fr, "Lithographic proximity effect"@en, "Proximity effect (lithography)"@en, "Efecto de proximidad en litografia"@es ;
  skos:inScheme rdr: ;
  a skos:Concept ;
  inist:semCategory "Processus physique / Processus chimique"@fr, "Physical phenomenon / Chemical phenomenon"@en ;
  skos:altLabel "proximity effect in lithography"@en .

<http://data.loterre.fr/ark:/67375/RDR/PPPC>
  skos:prefLabel "Processus physique / Processus chimique"@fr, "Physical phenomenon / Chemical phenomenon"@en ;
  a isothes:ConceptGroup, skos:Collection ;
  skos:member rdr:-TXMTW07W-8 .

rdr: a skos:ConceptScheme .
