@prefix rdr: <http://data.loterre.fr/ark:/67375/RDR> .
@prefix skos: <http://www.w3.org/2004/02/skos/core#> .
@prefix isothes: <http://purl.org/iso25964/skos-thes#> .
@prefix inist: <http://www.inist.fr/Ontology#> .

rdr: a skos:ConceptScheme .
rdr:-WP9211GN-F
  skos:prefLabel "maskless lithography"@en, "litografía sin máscara"@es, "lithographie sans masque"@fr ;
  a skos:Concept ;
  skos:narrower rdr:-P1KD9GNK-K .

<http://data.loterre.fr/ark:/67375/RDR/FABR>
  skos:prefLabel "Design"@en, "Conception"@fr ;
  a isothes:ConceptGroup, skos:Collection ;
  skos:member rdr:-P1KD9GNK-K .

rdr:-P1KD9GNK-K
  skos:altLabel "masquage électronique"@fr, "lithographie par faisceau électronique"@fr ;
  inist:semCategory "Conception"@fr, "Design"@en ;
  skos:hiddenLabel "Lithographie par faisceau d'électrons"@fr, "Lithographie faisceau électron"@fr, "Electron beam lithography"@en, "Litografía haz electrón"@es, "Litografía por haz de electrónes"@es ;
  inist:domain "Engineering sciences"@en, "Sciences de l'ingénieur"@fr ;
  skos:prefLabel "litografía por haz de electrónes"@es, "electron beam lithography"@en, "lithographie par faisceau d'électrons"@fr ;
  skos:inScheme rdr: ;
  skos:exactMatch <https://www.wikidata.org/wiki/Q256845> ;
  a skos:Concept ;
  skos:broader rdr:-WP9211GN-F .

