@prefix qjp: <http://data.loterre.fr/ark:/67375/QJP> .
@prefix skos: <http://www.w3.org/2004/02/skos/core#> .

qjp: a skos:ConceptScheme .
qjp:-S6W19NC7-Z
  skos:hiddenLabel "Lithographie faisceau électronique"@fr, "Masquage électronique"@fr, "Lithographie faisceau électron"@fr, "Electron beam lithography"@en, "Lithographie électronique"@fr ;
  skos:inScheme qjp: ;
  skos:altLabel "lithographie électronique"@fr, "masquage électronique"@fr, "lithographie à faisceau électronique"@fr ;
  a skos:Concept ;
  skos:prefLabel "lithographie à faisceau d'électrons"@fr, "electron beam lithography"@en .