@prefix fmc: <http://data.loterre.fr/ark:/67375/FMC> .
@prefix skos: <http://www.w3.org/2004/02/skos/core#> .

fmc: a skos:ConceptScheme .
fmc:-VL5NX6FZ-V
  skos:altLabel "lithographie par faisceau électronique"@fr, "e-beam lithography"@en, "lithographie électronique"@fr, "litografía por e-beam"@es ;
  skos:prefLabel "lithographie par faisceau d'électrons"@fr, "electron beam lithography"@en, "litografía por haz de electrones"@es, "Elektronenstrahl-Lithographie"@de ;
  a skos:Concept ;
  skos:hiddenLabel "e-beam patterned"@en, "masquage électronique"@fr ;
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  skos:inScheme fmc: .

fmc:-TNMLXWSN-G
  skos:prefLabel "Lithografie"@de, "litografía"@es, "lithography"@en, "lithographie"@fr ;
  a skos:Concept ;
  skos:narrower fmc:-VL5NX6FZ-V .

