Concept information
Término preferido
electron beam lithography
En otras lenguas
-
francés
-
lithographie à faisceau électronique
-
lithographie électronique
-
masquage électronique
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/QJP-S6W19NC7-Z
{{label}}
{{#each values }} {{! loop through ConceptPropertyValue objects }}
{{#if prefLabel }}
{{/if}}
{{/each}}
{{#if notation }}{{ notation }} {{/if}}{{ prefLabel }}
{{#ifDifferentLabelLang lang }} ({{ lang }}){{/ifDifferentLabelLang}}
{{#if vocabName }}
{{ vocabName }}
{{/if}}