Concept information
Preferred term
épitaxie en phase vapeur aux organométalliques
Synonym(s)
- dépôt chimique en phase vapeur aux composés organométalliques
- EPVOM
- MOCVD
In other languages
-
English
-
metalorganic vapour-phase epitaxy
-
MOCVD
-
MOPVE
-
OMCVD
-
OMPVE
-
organnometallic vapour-phase epitaxy
-
organometallic chemical vapor deposition
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/QJP-XMTFB1QX-W
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