Concept information
Terme préférentiel
gravure ionique réactive
Définition
- Technique de gravure sèche des semi-conducteurs, similaire, dans la mise en oeuvre, à une gravure au plasma de type pulvérisation cathodique, mais au cours de laquelle le plasma réagit non seulement physiquement, mais aussi chimiquement avec la surface du wafer, ce qui en retire une partie ou certaines des substances qui y ont été déposées. (d'après wikipédia)
Synonyme(s)
- gravure par ions réactifs
Appartient au groupe
Traductions
-
anglais
-
RIE
-
espagnol
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/NHT-WQD413B3-0
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