Concept information
Término preferido
gravure ionique réactive
Definición
- Technique de gravure sèche des semi-conducteurs, similaire, dans la mise en oeuvre, à une gravure au plasma de type pulvérisation cathodique, mais au cours de laquelle le plasma réagit non seulement physiquement, mais aussi chimiquement avec la surface du wafer, ce qui en retire une partie ou certaines des substances qui y ont été déposées. (d'après wikipédia)
Etiquetas alternativas
- gravure par ions réactifs
Pertenece al grupo
En otras lenguas
-
español
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inglés
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RIE
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/NHT-WQD413B3-0
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