Concept information
Término preferido
PECVD
Etiquetas alternativas
- plasma enhanced chemical vapor deposition
Pertenece al grupo
En otras lenguas
-
español
-
deposición química en fase vapor por plasma
-
francés
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dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/NHT-GW8H61NC-V
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