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Physique de l'état condensé

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Concept information

Término preferido

photolithographie  

Definición

  • Ensemble des opérations permettant de transférer une image (généralement présente sur un masque) vers un substrat. Cette technique est très utilisée dans l'industrie du semi-conducteur. (d'après wikipédia)

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URI

http://data.loterre.fr/ark:/67375/NHT-FGL6FB7Z-H

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