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Physique de l'état condensé

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Concept information

Preferred term

dépôt sous vide  

Definition

  • Procédé de fabrication de couche mince dans lequel on dépose des couches de matériaux atome par atome ou molécule par molécule sur une surface solide. Ce procédé fonctionne à des pressions bien inférieures à la pression atmosphérique. (d'après wikipédia)

Synonym(s)

  • revêtement sous vide

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URI

http://data.loterre.fr/ark:/67375/NHT-G4KGRVB7-J

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