Concept information
Preferred term
Systèmes micro-électro-mécaniques
Type
-
mesh:Descriptor
Broader concept
Narrower concepts
Synonym(s)
- SMEM
- Systèmes micro-électromécaniques
- Systèmes microélectromécaniques
Allowable Qualifier(s)
In other languages
-
English
-
MEMS
-
Micro-Electro-Mechanical Systems
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/JVR-XVGRCFVP-7
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