Concept information
Terme préférentiel
electron beam lithography
Concept générique
Synonyme(s)
- e-beam lithography
Traductions
-
allemand
-
espagnol
-
litografía por e-beam
-
français
-
lithographie électronique
-
lithographie par faisceau électronique
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/FMC-VL5NX6FZ-V
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