Concept information
Término preferido
electron beam lithography
Concepto genérico
Etiquetas alternativas
- e-beam lithography
En otras lenguas
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alemán
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español
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litografía por e-beam
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francés
-
lithographie électronique
-
lithographie par faisceau électronique
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/FMC-VL5NX6FZ-V
{{label}}
{{#each values }} {{! loop through ConceptPropertyValue objects }}
{{#if prefLabel }}
{{/if}}
{{/each}}
{{#if notation }}{{ notation }} {{/if}}{{ prefLabel }}
{{#ifDifferentLabelLang lang }} ({{ lang }}){{/ifDifferentLabelLang}}
{{#if vocabName }}
{{ vocabName }}
{{/if}}