Concept information
Término preferido
fotolitografía
Concepto genérico
Conceptos específicos
Etiquetas alternativas
- litografía óptica
En otras lenguas
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alemán
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Photolithographie
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francés
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lithographie optique
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masquage optique
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masquage photographique
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photomasquage
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inglés
-
optical lithography
-
photolithographic process
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/FMC-LJL82CDG-L
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