Concept information
Preferred term
dépôt par faisceau d'électrons
Synonym(s)
- dépôt par faisceau électronique
In other languages
-
English
-
German
-
Elektronenstrahl induzierte Abscheidung
-
Spanish
-
deposición por haces de electrones
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/FMC-CJ0ZX1CJ-0
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